特許
J-GLOBAL ID：200903014716511541

クリーニング構成を有する光学システム

発明者：
ツィンク,ペーター

ツィンク,ペーター について

, 
デッラ,ギュンター ハンス

デッラ,ギュンター ハンス について


出願人/特許権者：
コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ

コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ について


代理人 (3件)： 伊東 忠彦 ,  大貫 進介 ,  伊東 忠重
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-522099
公開番号（公開出願番号）：特表2008-507840
出願日： 2005年07月18日
公開日（公表日）： 2008年03月13日
要約：
光学システムのための、特に、EUV放射のためにデザインされた光学システムのためのクリーニング構成について開示している。クリーニング構成は反応ガス(29)のガス入口(28)を有する。光学要素(110)の表面に堆積した汚染物質(23)は反応ガスにより分離される。クリーニングされるべき表面の反対側に好適に配置されたゲッタ表面(32)がまた、備えられ、それにより、それらの表面から分離された汚染物質が吸着される。この吸着は、ゲッタ表面における凝縮の結果として及び化学反応により起こる。
請求項（抜粋）：
光学システムであって、特に、光学要素により規定されるビーム経路を有し、反応ガス入口と前記ビーム経路から離れて備えられている少なくとも1つのゲッタ表面とを有するクリーニング構成を有するEUV放射のためのものであることを特徴とする光学システム。
IPC (1件)：
H01L 21/027
FI (2件)：
H01L21/30 503G ,  H01L21/30 531A
Fターム (4件)：
5F046DA04 ,  5F046DA30 ,  5F046GA14 ,  5F046GA20
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 欧州特許第1213617号明細書
  • 米国特許出願公開第2004/0007246号明細書
審査官引用 (4件)
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