特許
J-GLOBAL ID：200903014719968941
エネルギー分散型X線分析装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-301355
公開番号（公開出願番号）：特開2001-124712
出願日： 1999年10月22日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：
【要約】【課題】 簡単な構造で、外部操作でコリメータ穴と半導体X線検出器の中心軸を容易に合わすことができるエネルギー分散型X線分析装置を提供する。【解決手段】 半導体X線検出器4aは、デュア4cの液体窒素がコールドフィンガ4bで導かれ低温に冷却されて、エンドキャップ14に内蔵されている。エンドキャップ14とコリメータ1の支持シャフト3は、絶縁物の支持ブロック2によって渡設され、コリメータ穴と検出器の中心軸は常に合致している。コリメータ1は支持シャフト3を介して駆動レバー18で回転される。支持ブロック2はエンドキャップ14に締結され、ハンドル10を回すことにより、検出器と試料5の距離を変更することができる。
請求項（抜粋）：
電子ビームやX線などを試料に照射して、試料表面から発生する特性X線を検出して元素分析を行うエネルギー分散型の分析装置において、試料から発せられる特性X線の強度を絞るコリメータを支持する支持部材と、半導体X線検出器を内設し保持する保持部材と、コリメータと検出器の中心軸を合致させ試料と半導体X線検出器の距離を調整できるようにして前記保持部材と支持部材を渡設する絶縁部材とを備えることを特徴とするエネルギー分散型X線分析装置。
IPC (2件)：
G01N 23/223
, G01N 23/225
G01N 23/223
, G01N 23/225
2G001AA01
, 2G001AA03
, 2G001BA04
, 2G001BA05
, 2G001BA07
, 2G001BA30
, 2G001CA01
, 2G001DA01
, 2G001EA03
, 2G001GA01
, 2G001GA06
, 2G001GA17
, 2G001JA06
, 2G001JA07
, 2G001JA11
, 2G001PA07
, 2G001SA02
, 2G001SA30
