特許
J-GLOBAL ID：200903014721066599
感光性ポリイミド用現像液
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-092688
公開番号（公開出願番号）：特開平5-289364
出願日： 1992年04月13日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：
【要約】【構成】この発明は、N-メチル-2-ピロリドンを40〜90重量%の範囲で含む感光性ポリイミド用現像液において、N-メチル-2-ピロリドンのメタノール溶液50重量%中での比電導度が、1〜7μS/cmの範囲であるN-メチル-2-ピロリドンを用いた感光性ポリイミド用現像液である。【効果】この発明の感光性ポリイミド用現像液を用いることにより従来の現像液に見られる解像度不良、基板面内での解像度のムラなどを確実に防止することができるなど、顕著な実用効果を奏するものである。
請求項（抜粋）：
N-メチル-2-ピロリドンが、40〜90重量%の範囲で配合された感光性ポリイミド用現像液において、該N-メチル-2-ピロリドンのメタノール溶液50重量%中で測定した比電導度が、1〜7μS/cmの範囲であることを特徴とする感光性ポリイミド用現像液。
引用特許：
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