特許
J-GLOBAL ID：200903014736035460
熱を機械的力に変換する素子を用いたアクチュエーター
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-231116
公開番号（公開出願番号）：特開平7-084646
出願日： 1993年09月17日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：
【要約】【目的】変位と応力による高精度なフィードバック制御が可能な非常に小型のアクチュエーターを提供する。【構成】平板状の形状記憶合金1は予め屈曲形状の二方向形状記憶処理が施されている。形状記憶合金1は、全面が絶縁膜であるポリイミド膜2で被覆されている。その主面に、白金(Pt)薄膜パターン3とチタン(Ti)薄膜パターン4が設けられている。Pt薄膜パターン3とTi薄膜パターン4の接続部5にはリード線6が、Pt薄膜パターン3の端部にはリード線7が、Ti薄膜パターン4の端部にはリード線8が接続されている。リード線7とリード線8は可変電圧電源(図示せず)に接続される。各リード線6と7と8は、電位測定装置(図示せず)に接続される。
請求項（抜粋）：
熱を機械的力に変換する素子と、これを駆動するための電熱変換素子とを有し、電熱変換素子はゲージ率と抵抗値の温度係数の少なくとも一方が異なる二種類の素材で構成されている、熱を機械的力に変換する素子を用いたアクチュエーター。
IPC (3件)：
G05D 3/00
, F03G 7/00
, G05D 15/01
