特許

J-GLOBAL ID：200903014749608842

カーボンナノチューブの製法

発明者： 臼井 弘紀 ,  田辺 信夫
出願人/特許権者： 株式会社フジクラ
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-086858
公開番号（公開出願番号）：特開2003-277031
出願日： 2002年03月26日
公開日（公表日）： 2003年10月02日
要約：

【要約】【課題】熱CVD法により基板上にカーボンナノチューブを成長させる際に、基板に対してカーボンナノチューブが垂直方向に成長するための原料ガスの適切な流量を求めることにある。【解決手段】熱CVD法により、反応室として機能する石英管1内の基板8上に原料ガス供給源4からの原料ガスとキャリアガス供給源5からのキャリアガスとの混合ガスを流し、基板8表面にカーボンナノチューブを成長させるカーボンナノチューブの製法において、基板8の表面積1mm2当たりの原料ガスの流量を1000〜20000sccmとなるようにガス混合制御部6においてそれらガスの流量を制御する。混合ガス中に占める原料ガスの割合を5〜50wt%とすることが好ましい。

請求項（抜粋）：

熱CVD法により、反応室内の基板に原料ガスとキャリアガスとの混合ガスを流し、基板表面にカーボンナノチューブを成長させるカーボンナノチューブの製法において、基板の表面積1mm2当たりの原料ガスの流量を1000〜20000sccmとすることを特徴とするカーボンナノチューブの製法。

Fターム (9件)：

4G146AA11 ,  4G146AB07 ,  4G146BA12 ,  4G146BC09 ,  4G146BC23 ,  4G146BC26 ,  4G146BC33B ,  4G146BC37B ,  4G146BC44