特許

J-GLOBAL ID：200903014757051873

レーザ装置、このレーザ装置を備えた画像読取装置及び画像検査装置

発明者： 今井 信一 ,  井上 広 ,  野村 武彦
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (7件)： 鈴江 武彦 ,  村松 貞男 ,  坪井 淳 ,  橋本 良郎 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  河井 将次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-208871
公開番号（公開出願番号）：特開2004-055695
出願日： 2002年07月17日
公開日（公表日）： 2004年02月19日
要約：

【課題】高効率で安定して高出力が得られ、産業用に使用することが可能な深紫外波長域で動作できるようにする。【解決手段】赤外レーザ発振器1と、紫外光をシングルモード光で発振する紫外レーザ発振器2と、紫外レーザ発振器2から発振された紫外光を所定の透過率で取込んで共振させる共振器4と、この共振器4内に設けられた非線形結晶3とを具備し、共振器4内に取込まれて共振される紫外光を非線形結晶3に通過させるとともに、赤外レーザ発振器1から発振された赤外線を非線形結晶3にシングルパスさせることにより和周波を発生させて深紫外光を出力する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

第1の波長を有する第1のレーザ光を発振する第1のレーザ発振器と、 前記第1の波長よりも短い第2の波長を有する第2のレーザ光をシングルモード光で発振する第2のレーザ発振器と、 前記第2の発振器から発振された第2のレーザ光を所定の透過率で取込んで共振させる共振器と、 この共振器内に設けられた非線形結晶と を具備し、 前記共振器内に取込まれて共振される前記第2のレーザ光を前記非線形結晶に通過させるとともに、前記第1の発振器から発振された第1のレーザ光を前記非線形結晶にシングルパスさせることにより和周波を発生させて前記第2の波長よりも短い波長を有する第3のレーザ光を出力することを特徴とするレーザ装置。

IPC (3件)：

H01S3/10 ,  G02F1/37 ,  H01S3/081

FI (3件)：

H01S3/10 C ,  G02F1/37 ,  H01S3/081

Fターム (17件)：

2K002AA04 ,  2K002AB12 ,  2K002AB27 ,  2K002BA04 ,  2K002HA19 ,  5F072AA02 ,  5F072AB02 ,  5F072JJ04 ,  5F072KK06 ,  5F072KK11 ,  5F072LL12 ,  5F072MM16 ,  5F072QQ04 ,  5F072RR01 ,  5F072RR05 ,  5F072SS01 ,  5F072YY08