特許
J-GLOBAL ID：200903014765322258
力学的物理量の変換器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-023840
公開番号（公開出願番号）：特開2001-215160
出願日： 2000年02月01日
公開日（公表日）： 2001年08月10日
要約：
【要約】【課題】寄生静電容量の形成、ならびに、歩留まりおよび生産性の低下を生じさせることなく、小型化が達成できる力学的物理量の変換器の提供。【解決手段】ガラス基板4に埋め込まれた細い導電性部材4Aを設け、この導電性部材4Aで導電性パターン3の電位を外部に取り出す。これにより、スルーホールの形成が不要となり、さらに変換器1を小型化できるうえ、変換器1の内部には、シリコン基板5の近傍から外部へ延びる導電性パターンが不要となり、両面に導電性パターン2,3が形成されたガラス基板4と、エッチングによりダイアフラム5Aが設けられたシリコン基板5との間に隙間が発生せず、歩留まりが向上し、寄生静電容量の形成が防止される。
請求項（抜粋）：
両面に導電性パターンが形成されたガラス基板と、エッチングにより形成されている力学的物理量の感応部が設けられたシリコン基板とを備え、前記ガラス基板と前記シリコン基板とが接合されている力学的物理量の変換器であって、前記ガラス基板には、その表面に対して垂直方向に延びる導電性部材が埋め込まれ、前記ガラス基板の両面に形成された前記導電性パターンは、前記導電性部材を介して電気的に相互に接続されていることを特徴とする力学的物理量の変換器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (23件)：
2F055AA40
, 2F055BB01
, 2F055BB03
, 2F055BB05
, 2F055CC02
, 2F055DD05
, 2F055EE25
, 2F055FF11
, 2F055FF43
, 2F055FF49
, 2F055GG01
, 2F055GG11
, 4M112AA01
, 4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA11
, 4M112CA13
, 4M112CA15
, 4M112DA02
, 4M112DA18
, 4M112DA20
, 4M112EA02
, 4M112EA13
