特許
J-GLOBAL ID：200903014774422397
位置決めステージ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-358993
公開番号（公開出願番号）：特開平6-204107
出願日： 1992年12月25日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：
【要約】【目的】 基板等を保持するトップステージの変形や変位を防ぎ、高精度な位置合わせを行うことのできる位置決めステージ装置を実現する。【構成】 吸着面1aに図示しないウエハを吸着するトップステージ1は、3個の圧電素子5〜8に支持され、各圧電素子5〜7は、トップステージ1をZ軸方向に移動させる。各圧電素子5〜7は、その上端に設けられた球面状の軸受面とこれに摺動自在に保持された球状体からなる結合装置8〜10によってトップステージ1に結合されており、第1の結合装置8の球状体はトップステージ1に固着され、第2の結合装置9の球状体はトップステージ1に沿って一方向のみに往復移動自在であり、第3の結合装置10の球状体はトップステージ1に沿って任意の方向に往復移動自在である。
請求項（抜粋）：
平板状の保持盤と、該保持盤を支持する3個の支持手段と、これらをそれぞれ前記保持盤の異なる部分に結合する3個の結合手段からなり、前記結合手段がそれぞれ前記支持手段に一体的に設けられた球面状の軸受面と、該軸受面に回転自在に支持された球状体と、該球状体を前記保持盤とともに、前記軸受面に付勢する付勢手段からなり、第1の結合手段の球状体が前記保持盤に固着されており、第2の結合手段の球状体が、前記保持盤に沿って所定の方向に摺動自在であり、第3の結合手段の球状体が前記保持盤に沿って任意の方向に往復移動自在であることを特徴とする位置決めステージ装置。
IPC (6件)：
H01L 21/027
, B23Q 1/02
, B65G 49/07
, G03F 9/00
, H01L 21/68
, H01L 41/09
H01L 21/30 301 Z
, H01L 41/08 U
