XYステージ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-315253
公開番号（公開出願番号）：特開平11-148984
出願日： 1997年11月17日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：

【要約】【課題】移動テーブルを高速で移動させることができ、小型化、軽量化されたXYステージを実現する。【解決手段】ベース4の表面に空気軸受け介して移動テーブル3が支持され、移動テーブル3をX方向に移動させるためのボイスコイルモータ1と、移動テーブル3をY方向に移動させるためのボイスコイルモータ2とが備えられる。移動テーブル3の端部には、第1リンク5aおよび5b、連結部材16、第2リンク15aおよび15bで構成されたリンク機構が取り付けられる。そのリンク機構によって、ベース4の表面と平行な平面内で移動テーブル3の表面が平行移動可能となるように移動テーブル3が保持される。移動テーブル3が、ボイスコイルモータ1および2の駆動と、リンク機構の働きとによってベース4の表面と平行な方向に平行移動する。

請求項（抜粋）：

ベースと、移動テーブルと、該移動テーブルの表面が前記ベースの表面と平行となるように前記移動テーブルを平行移動可能に保持するリンク機構と、前記移動テーブルを前記ベースの表面と平行な一方向に移動させるための第1の駆動手段と、前記一方向と直交し、前記ベースの表面と平行な方向に前記移動テーブルを移動させるための第2の駆動手段とを有するXYステージ。

IPC (3件)：

G12B 5/00 , G05D 3/00 , H01L 21/68

FI (3件)：

G12B 5/00 T , G05D 3/00 Z , H01L 21/68 K

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