特許
J-GLOBAL ID：200903014785447014
蒸着方法及び蒸発装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-170528
公開番号（公開出願番号）：特開平6-010118
出願日： 1992年06月29日
公開日（公表日）： 1994年01月18日
要約：
【要約】【目的】 発光層作製時に硫黄の共蒸着を精度良く安定して行うことができる蒸着方法と蒸発装置を提供する。【構成】 高温の真空装置内で高い蒸気圧の物質を蒸着するに際し、蒸発源であるルツボ1下部に溶接したステンレスパイプ3に水を流すことにより冷却を行い、内部に設置したヒータ線4と熱電対5により加熱及び温度制御を行う蒸発源を用いて硫黄6の共蒸着を行う。冷却部がルツボ1と接しているため、ルツボ1内の冷却は効率よく行われ、ルツボ1上部は外部からの輻射熱やヒータ4からの熱により加熱され硫黄6が再凝集することなく蒸発口から出ていく。ヒータ4が直接硫黄6に接しているため温度制御に対する応答が早い。
請求項（抜粋）：
蒸発口を有する耐熱性容器の内部に蒸発物質とヒータを収納し、該耐熱性容器の蒸発物質収納部を冷却しながら、前記ヒータにより蒸発物質を加熱蒸発させることを特徴とする蒸着方法。
IPC (2件)：
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