反射防止膜の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石井紀男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-052904
公開番号（公開出願番号）：特開平6-242302
出願日： 1993年02月18日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：

【要約】【目的】反射防止膜の製造方法において、耐久性及び耐熱性等の信頼性に優れた反射防止膜を得ること。【構成】光学媒体1の表面に、Ti O2 膜を一層以上含む反射防止膜を形成した光学部品において、Ti O2 膜2又は3の屈折率が波長850nmより長い光に対して2.4以上とした。

請求項（抜粋）：

光学媒体の表面に、Ti O2 膜を一層以上含む反射防止膜を形成した光学部品において、Ti O2 膜の屈折率が波長850nmより長い光に対して2.4以上であることを特徴とする反射防止膜の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (5件)

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