特許
J-GLOBAL ID：200903014792964709
ガス種決定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
友松 英爾 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-140017
公開番号（公開出願番号）：特開平5-312752
出願日： 1992年05月01日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：
【要約】【目的】 マイクロヒーターを用いたガス検出装置を利用して、ガス出力応答の特性から、一つのガス検出装置で雰囲気中に存在する特定ガスのガス種を決定する方法の提供。【構成】 空中に張り出して設けられた電気絶縁性材料からなる張り出し部、該張り出し部上に設けられた複数の金属酸化物半導体層、電極リードおよびヒーターリードを有するガス検知装置を用いて、雰囲気中に存在する特定ガスについて各種ガスに対する応答出力の相違によりガス種を決定することを特徴とするガス種を決定する方法。
請求項（抜粋）：
空中に張り出して設けられた電気絶縁性材料からなる張り出し部、該張り出し部上に設けられた複数の金属酸化物半導体層、電極リードおよびヒーターリードを有するガス検知装置を用いて雰囲気中に存在する特定ガスについて各種ガスに対する応答出力の相違によりガス種を識別することを特徴とするガス種を決定する方法。
引用特許：
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