特許

J-GLOBAL ID：200903014793921078

フルイディック型流量計

発明者： 高宮 敏行 ,  佐藤 重正
出願人/特許権者： リコー精器株式会社
代理人 (1件)： 柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-289495
公開番号（公開出願番号）：特開平10-132628
出願日： 1996年10月31日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】 簡易な構成でセンサの耐久性を向上でき、かつ、配管部の脈流等による圧力変動の影響を低減できるようにする。【解決手段】 振動検出センサの構成として、圧力検出方向が同一方向に設定されて同一向きに配設される2つの差圧式圧力センサ、例えば、圧電素子26a,26bを有し、これらの圧電素子26a,26bの同一側の片面は各々独立した圧力検出室25を介して流体振動による圧力変動を導くための各々の圧力検出孔11a,11bに連通し、これらの圧電素子26a,26bの他方の片面は流体振動の影響を受けない箇所の圧力を導くライン圧検出孔20に連通させることで、絶対圧検出方式をベースとし、かつ、ライン圧が圧電素子26a,26bの両面に印加されるようにすることで相殺させ、耐久性の問題を解消するようにした。

請求項（抜粋）：

ジェットノズルにより流路内に噴出された流体の壁付着現象による流体振動を振動検出センサにより検出し、この振動検出センサにより検出された流体振動の振動数から流量を算出するフルイディック型流量計において、前記振動検出センサは、圧力検出方向が同一方向に設定されて同一向きに配設される2つの差圧式圧力センサを有し、これらの差圧式圧力センサの同一側の片面は各々独立した圧力検出室を介して流体振動による圧力変動を導くための各々の圧力検出孔に連通し、これらの差圧式圧力センサの他方の片面は流体振動の影響を受けない箇所の圧力を導くライン圧検出孔に連通していることを特徴とするフルイディック型流量計。