特許

J-GLOBAL ID：200903014800680707

回路基板検査装置

発明者： 長谷川 敏広
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-218710
公開番号（公開出願番号）：特開2002-031661
出願日： 2000年07月14日
公開日（公表日）： 2002年01月31日
要約：

【要約】【課題】従来の回路基板検査装置では、一回の検査を行う毎にプローブの移動が必要なため、検査には常に測定時間に加えて移動時間がかかっていた。また、検査効率を上げるために多くのプローブヘッドを搭載する方法もあるが、おのおのを駆動させる機構が必要となるため、非常にコストがかかっていた。【解決手段】一つの大プローブヘッドに複数の小プローブヘッドを搭載し、一方の小プローブヘッドをカムによって駆動させることにより、他小プローブヘッドとの間隔を無段階に変える機能を持つ。本発明による回路基板検査装置は、一つのプローブヘッドに複数のプローブヘッドを搭載し、一方のプローブヘッドをカムによって駆動させ、他プローブヘッドとの間隔を無段階に変えることにより、一つのプローブヘッドで回路の両端にプローブを接触させる機能を持つ。

請求項（抜粋）：

回路基板の電気的検査を行う装置において、検査用プローブを搭載したプローブヘッドをX・Y・Z方向に移動させ検査する方式の装置で、一つの大プローブヘッドに複数の小プローブヘッドを搭載し、一方の小プローブヘッドをカムによって駆動させることにより、他小プローブヘッドとの間隔を無段階に変える機能を持った装置。

IPC (4件)：

G01R 31/02 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/28 ,  H05K 3/00

FI (4件)：

G01R 31/02 ,  G01R 1/06 E ,  H05K 3/00 T ,  G01R 31/28 K

Fターム (15件)：

2G011AA01 ,  2G011AC06 ,  2G011AC09 ,  2G011AE01 ,  2G014AA02 ,  2G014AB59 ,  2G014AC09 ,  2G032AA00 ,  2G032AB01 ,  2G032AD08 ,  2G032AE04 ,  2G032AF02 ,  2G032AF04 ,  2G032AG04 ,  2G032AK03