特許
J-GLOBAL ID：200903014801092167
ウェハの移し替え方法及び移し替え装置
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-049346
公開番号（公開出願番号）：特開平9-246350
出願日： 1996年03月06日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【課題】 移し替えすべきウェハの面の向きが多少不揃いであっても、ウェハの吸着エラーを確実に低減する。【解決手段】 ウェハ移替え作業のため容器内に挿入したアームを、その吸着面を抜き取るべきウェハに向けた状態でそのウェハ方向の所定位置まで微速移動させていき、最大許容量Xmax 移動してもウェハの吸着が確認されなければ(S1〜S3)、アームの吸着面の向きを一方向につき最大角度範囲内で左右・上下方向に所定角θ1,θ2ずつ旋回させながら(S7〜S11等)、所定位置(原点)からのウェハに向かう微速移動をウェハの吸着を確認するまで順番に繰り返す。
請求項（抜粋）：
容器に収容されたウェハを移し替えのためアームの吸着面に真空吸着して容器から1枚ずつ抜き取るウェハの移し替え方法において、前記アームを抜き取るべきウェハに吸着面を向けて容器内に挿入するとともに、該吸着面を真空作動状態として当該ウェハに十分当接するように設定した所定位置まで移動させていき、ウェハが吸着されたことを確認すると、その時点で移動を停止してアームを容器から抜き取り、ウェハの吸着を確認しないまま所定位置まで達すると、次にウェハに対するアームの吸着面の向きを変更してウェハの吸着を確認するまで再度吸着を試るようにしたウェハの移し替え方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B65G 47/91 A
