特許

J-GLOBAL ID：200903014803028334

半導体生産ラインにおける処理能力検証装置

発明者： 三宅 泰久 ,  松井 恒一 ,  林 昭彦 ,  水野 達夫 ,  中田 智仁 ,  近沢 宏
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社 ,  菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社 ,  四国計測工業株式会社
代理人 (1件)： 村上 博 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-050663
公開番号（公開出願番号）：特開2000-246599
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2000年09月12日
要約：

【要約】【課題】 検証結果を元に生産装置能力不足を解消するための解決策を立案することができる半導体生産ラインにおける処理能力検証装置を得る。【解決手段】 生産装置性能情報、生産フロー情報、装置限定情報、生産計画数情報を元に各工程別の生産計画数を求め、生産装置性能情報と装置限定情報より各生産装置で処理可能な処理数を算出し、生産計画数と処理可能数との差を未処理数として算出する。

請求項（抜粋）：

生産品種毎の生産計画数情報と生産品種毎の生産工程手順を規定した生産フロー情報により生産品種毎工程毎の必要処理数を算出する手段と、生産品種毎の工程における処理可能候補となる生産装置号機別のタクトタイム情報により上記必要処理数を必要処理時間に換算しながら生産装置号機毎の稼動可能時間に対し、稼動可能時間-必要処理時間が0となるまで処理数を割り当て、割り当て完了した製品数と割り当てできなかった製品数に分類する手段とから構成される検証実行手段を設けたことを特徴とする半導体生産ラインにおける処理能力検証装置。

IPC (3件)：

B23Q 41/08 ,  G05B 15/02 ,  G06F 17/60

FI (3件)：

B23Q 41/08 Z ,  G05B 15/02 Z ,  G06F 15/21 R

Fターム (19件)：

3C042RJ07 ,  3C042RJ15 ,  3C042RJ20 ,  3C042RL11 ,  5B049BB07 ,  5B049CC21 ,  5B049CC34 ,  5B049EE31 ,  5B049EE56 ,  5B049FF01 ,  5H215AA06 ,  5H215AA20 ,  5H215BB20 ,  5H215CC07 ,  5H215CX01 ,  5H215GG05 ,  5H215GG09 ,  5H215HH03 ,  5H215JJ14