Fe-B濃度測定によるシリコンウェーハの評価方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-222431
公開番号（公開出願番号）：特開平8-064650
出願日： 1994年08月24日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】 SPV法を用いてシリコンウェーハのFe-B濃度を測定する場合、ウェーハ内部に酸素析出欠陥があると前記濃度を大幅に高く算出する。そこで、正確なFe-B濃度の測定を可能とするためのシリコンウェーハの評価方法を提供する。【構成】 SPV法を用いてp型シリコンウェーハの活性化前後の少数キャリア拡散長Lb とLa とを測定した上、(Lb -La )/Lb の値を算出する。この値をLb とLb -La との相関を示すグラフから求めた定数Cと比較し、C未満であれば酸素析出ありと判断して濃度計算から除外する。その他のウェーハについてのみ、Fe-B濃度(cm-3)≒1×1016(La -2-Lb -2)を演算する。これにより、酸素析出欠陥が高密度に発生しているウェーハが混在しているロットであっても、Fe-B濃度を正確に把握することができる。

請求項（抜粋）：

p型シリコンウェーハにおけるFe-B結合状態の少数キャリアの拡散長Lb と、活性化してFeint +Bsub に解離後急冷した状態の少数キャリアの拡散長La とを表面光起電力法を用いて測定し、これらの測定値の差からFe-B濃度を求めるシリコンウェーハのFe-B濃度測定において、(Lb -La )/Lb の値がLb とLb -La との相関を示すグラフから求めた所定の値に満たない場合は、前記ウェーハに酸素析出欠陥があるものと判定してFe-B濃度の算出を中止し、その他のウェーハに対してのみFe-B濃度を算出することを特徴とするFe-B濃度測定によるシリコンウェーハの評価方法。

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