特許
J-GLOBAL ID：200903014806919310
基板検査装置及び基板検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北村 秀明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-256683
公開番号（公開出願番号）：特開2008-076266
出願日： 2006年09月22日
公開日（公表日）： 2008年04月03日
要約：
【課題】 基板に設けられる配線パターンの短絡検査において、配線パターン間で発生するスパークを確実に検出して、不良な基板を発見することのできる基板検査装置及び基板検査方法の提供。【解決手段】 回路基板の複数の配線パターンの絶縁検査を行う絶縁検査装置であって、複数の配線パターン毎に対応する、該配線パターンに電流を供給する上流側及び下流側電流供給端子と、複数の配線パターン毎に対応する、電流が印加されることにより生じる電圧を検出するための上流側及び下流側電圧検出端子と、検査対象となる配線パターンに対応する上流側電流供給端子と上流側電圧検出端子との電圧を検出する電圧検出手段と、電圧検出手段により検出される電圧値により、検査対象の配線パターンと他の配線パターンのスパークを検出することを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
複数の配線パターンが形成される回路基板において、前記複数の配線パターンから検査対象となる配線パターンが選択され、該配線パターンの絶縁検査を行う絶縁検査装置であって、
前記複数の配線パターン毎に対応する、該配線パターンに電流を供給する上流側及び下流側電流供給端子と、
前記複数の配線パターン毎に対応する、前記電流が印加されることにより生じる電圧を検出するための上流側及び下流側電圧検出端子と、
前記検査対象となる配線パターンに対応する上流側電流供給端子と上流側電圧検出端子との電圧を検出する電圧検出手段と、
前記電圧検出手段により検出される電圧値により、前記検査対象の配線パターンと他の配線パターンのスパークを検出することを特徴とする絶縁検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
2G014AA03
, 2G014AA15
, 2G014AB59
, 2G014AC09
