パターン転写方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-259003
公開番号（公開出願番号）：特開2001-080033
出願日： 1999年09月13日
公開日（公表日）： 2001年03月27日
要約：

【要約】【課題】高い位置精度及び形状精度を備え、且つ作業が比較的容易なパターン転写方法を提供する。【解決手段】ワーク1に対向してシートフレーム10が配置され、その下側にはシート状の版5が張り渡されている。版5は、鋼製のベースシート6及び硬質ゴム製の表層部7からなる。シートフレーム10は、矩形の外枠11、ステンレス鋼メッシュ製の固定シート13、及び可撓性を備えた永久磁石製の吸着ブロック16から構成される。固定シート13には、外枠11の内周に沿って多数の貫通孔14が形成されている。吸着ブロック16は、外枠11の内周に沿って固定シート13の上面に固定され、その下面には、上記貫通孔14の上方を覆う様に溝状の通気経路17が形成されている。版5は、吸着ブロック16の磁力及び貫通孔14を介した真空吸着によって固定シート13の下面に固定される。

請求項（抜粋）：

テーブル上に保持された平板状のワークに、表面に盛り付けられたインクあるいは表面に形成された凹凸によって二次元のパターンが形成されたシート状の版を用いてパターンを転写するパターン転写方法において、前記シート状の版として、強磁性体からなるベースシート上に弾性体からなる表層部が積層された複合シートを準備する第一準備工程と、外枠、外枠の下側に長手方向に張り渡され、外枠の内周に沿って上面から下面に貫通する複数の貫通孔が形成された非磁性材料製の固定シート、及び外枠の内周に沿って固定シートの上面側に固定され、下面に前記貫通孔の上方を覆う様に溝状の通気経路が形成され、可撓性を有する永久磁石製の吸着ブロック、を備えたシートフレームを準備する第二準備工程と、前記ワークをテーブル上に保持する第一工程と、前記シート状の版を、前記吸着ブロックの磁力によって前記固定シートの下面に保持する第二工程と、前記通気経路を介して前記貫通孔内を減圧し、前記シート状の版の裏面を前記固定シートの下面に密着させる第三工程と、前記ワークを、前記シート状の版の表面に接近させ、前記シート状の版に対して平行な姿勢で保持する第四工程と、前記固定シートの上からプレスローラを用いて押圧し、前記シート状の版の表面を前記ワークに密着させる第五工程と、前記通気経路を介して前記貫通孔内を加圧し、前記シート状の版の裏面を前記固定シートの下面から引き離す第六工程と、前記シート状の版の表面を前記ワークから引剥がす第七工程と、を備えたことを特徴とするパターン転写方法。

IPC (3件)：

B41F 15/08 303 , B41F 15/08 309 , B41M 1/12

FI (3件)：

B41F 15/08 303 E , B41F 15/08 309 A , B41M 1/12

Fターム (18件)：

2C035AA06 , 2C035AA08 , 2C035FC04 , 2C035FC10 , 2C035FD01 , 2C035FD25 , 2C035FF01 , 2C035FF04 , 2C035FF22 , 2C035FF26 , 2H113AA01 , 2H113AA05 , 2H113BA21 , 2H113BA22 , 2H113BB09 , 2H113BB22 , 2H113CA17 , 2H113FA28

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