特許

J-GLOBAL ID：200903014823826350

感放射線性樹脂組成物

発明者： 佐野 公康 ,  三島 健司 ,  梶田 徹 ,  宮松 隆
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
代理人 (1件)： 福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-185662
公開番号（公開出願番号）：特開2003-005372
出願日： 2001年06月19日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：

【要約】【課題】 特にArFエキシマレーザーに対する透明性が高く、感度、解像度、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(A)n-ブチルビニルエーテル、3,4-ジヒドロ-2H-ピラン等に代表される不飽和エーテルと無水マレイン酸と(メタ)アクリル酸2-メチル-2-アダマンチルとの共重合体等の、酸の作用によりアルカリ可溶性となる酸解離性基含有樹脂、並びに(B)2,5-ヘキシレン-(1-n-ブトキシナフタ-4-イル)スルホニウムノナフルオロ-n-ブタンスルホネー、4-(2-ノルボルニルメトキシ)ナフチルテトラヒドロチオフェニウムノナフルオロ-n-ブタンスルホネート、2,5-ヘキシレン-(1-ヒドロキシ-2,6-ジメチルフェン-4-イル)スルホニウムノナフルオロ-n-ブタンスルホネート等に代表される感放射線性酸発生剤を含有する。

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1)で表される繰返し単位を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、酸の作用によりアルカリ可溶性となる酸解離性基含有樹脂、および(B)下記一般式(2)で表される化合物を含む感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、R1 は炭素数1〜8の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基を示すか、あるいはR2 、式中の酸素原子および主鎖を構成する炭素原子と共に環状構造を形成しており、該アルキル基および該環状構造は置換されていてもよく、R1 、式中の酸素原子および主鎖を構成する炭素原子と共に環状構造を形成していないR2 は水素原子またはメチル基を示し、R3 は水素原子またはメチル基を示す。〕【化2】〔一般式(2)において、R4 は芳香族環を有する炭素数6〜20の1価の基を示し、R5 は水素原子または炭素数1〜10の直鎖状、分岐状もしくは環状の1価の炭化水素基を示し、複数存在するR5 は相互に同一でも異なってもよく、aは0〜(6+2m)の整数であり、mは0〜5の整数であり、nは0または1であり、X- はスルホン酸アニオンを示す。〕

IPC (3件)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 A ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (12件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BG00 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17