特許
J-GLOBAL ID：200903014833178977
感光性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
友松 英爾 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-268205
公開番号（公開出願番号）：特開平7-104474
出願日： 1993年09月30日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：
【要約】【目的】 耐熱性、耐溶剤性、耐水性、電気絶縁性に優れたネガ型感光性樹脂組成物の提供。【構成】 加水分解性基含有けい素化合物残基を有する環状オレフィン系樹脂(A)と、活性光線の照射により、該環状オレフィン樹脂と反応し、架橋化合物を生成する光反応性物質(B)とを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
加水分解性基含有けい素化合物残基を有する環状オレフィン系樹脂(A)と、活性光線の照射により、該環状オレフィン樹脂と反応し、架橋化合物を生成する光反応性物質(B)とを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (9件)：
G03F 7/038 505
, C08F 2/50 MDN
, C08G 61/08 NLG
, C08L 43/04 LKA
, G03F 7/004 503
, G03F 7/008
, G03F 7/028
, G03F 7/075 511
, H01L 21/027
