特許
J-GLOBAL ID:200903014834403753

配向性カーボンナノチューブ膜の転写方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 永井 隆
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-091582
公開番号(公開出願番号):特開2003-286017
出願日: 2002年03月28日
公開日(公表日): 2003年10月07日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 配向性を保ちながらこの膜を固定用基板に転写させる、配向性カーボンナノチューブ膜の転写方法を提供する。【解決手段】 基板表面上に成長した配向性カーボンナノチューブ膜の膜面に金属粒子を付着させ、一方、固定用基板上に低融点金属膜を固定しておき、両者を接触させ、低融点金属の融点以上に加熱することにより、配向性を保ちながらこの膜を固定用基板に転写させる、配向性カーボンナノチューブ膜の転写方法。
請求項(抜粋):
成長用基板表面上に配向性のあるカーボンナノチューブ膜を作製する第一の工程と、該配向性カーボンナノチューブ膜の膜面に金属微粒子を付着させる第二の工程と、金属性の表面を有する固定用基板と該成長用基板上の配向性カーボンナノチューブ膜の膜面とを接触させ加熱する第三の工程と、該固定用基板から該成長用基板を剥離させる第四の工程からなることを特徴とする、配向性カーボンナノチューブ膜の転写方法。
Fターム (3件):
4G146AA11 ,  4G146AB07 ,  4G146CA20

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