特許

J-GLOBAL ID：200903014834569066

液状レジスト組成物

発明者： 金谷 大介 ,  小寺 孝兵 ,  池谷 晋一
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (1件)： 松本 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-342907
公開番号（公開出願番号）：特開平6-186735
出願日： 1992年12月22日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：

【要約】【目的】 スルーホールコーナー部における塗布性能が良好な液状レジストを提供する。【構成】 通常のレジスト組成にフッ素系界面活性剤を含有させたレジスト組成物。

請求項（抜粋）：

フッ素系界面活性剤を含有する液状レジスト組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/004 504 ,  G03F 7/022 ,  H05K 3/06