特許
J-GLOBAL ID：200903014848264918
プローブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-216649
公開番号（公開出願番号）：特開平5-041423
出願日： 1991年08月03日
公開日（公表日）： 1993年02月19日
要約：
【要約】【目的】被検査体にプローブカードの触針を接触させて電気的特性を測定するプローブ装置において、被検査体への微細塵等の付着防止及び被検査体の被検査体保持手段と被検査体搬送手段との授受の容易化を図る。【構成】プローブカード4の上方に、水平及び垂直方向に移動可能なウエハ保持手段5を配設する。ウエハ保持手段5のチャック14を下面に複数の吸引用小孔を有する中空状に形成する。チャック14の中空部と真空ポンプ18とを接続する。これにより、ウエハ1をウエハ保持手段5のチャック14の下面に吸着保持することができ、真空ポンプ18の作動及び作動停止によってウエハ保持手段5とウエハ搬送手段との間のウエハ1の授受が可能となる。
請求項（抜粋）：
被検査体の電極パッドにプローブカードの触針を接触させて、上記被検査体の電気的特性を測定するプローブ装置において、上記プローブカードの上方に、水平及び垂直方向に移動可能な被検査体保持手段を配設すると共に、この被検査体保持手段の下面に吸着手段にて上記被検査体を吸着保持し得るようにしたことを特徴とするプローブ装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 31/26
, H01L 21/68
