特許
J-GLOBAL ID：200903014852214046
洗浄装置及び洗浄方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
金本 哲男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-182982
公開番号（公開出願番号）：特開平7-176509
出願日： 1994年07月11日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：
【要約】【目的】 ある程度外部に対して閉鎖された空間内に、被処理体の洗浄処理槽と搬送装置とを有するウエット型の洗浄装置において、装置内の給排気量を少なくしつつ薬液ミストやパーティクルの拡散を効果的に防止する。【構成】 薬液洗浄処理槽25の後端に仕切板31を設けると共に、前端にミストセパレータ32を設けて、装置内を搬送装置12側エリアと薬液洗浄処理槽25側エリアとに雰囲気分離させ、分離された各々のエリアに対してファン・フィルタ・ユニットF5から給気させる。搬送装置12側エリアの排気は排気板63を通じて行う。排気領域が減少し、薬液ミストの発生する洗浄処理槽側エリアと、パーティクルの発生しやすい搬送装置側エリアとにおける気流制御が独立して行え、洗浄装置全体としての給気、排気のバランスを最適な状態にして装置を稼働させることが可能である。
請求項（抜粋）：
側板によって形成された領域内に被処理体を洗浄する処理槽を配列し、かつ前記処理槽の前面側に位置して前記被処理体を前記配列方向に沿って搬送する搬送装置を前記領域内に有し、さらに少なくとも前記処理槽に向けて上方から気流を吹き出す如く構成された吹出し装置を有する洗浄装置において、 前記処理槽の前端上部に、切欠凹部を上端から有する遮蔽板を設けると共に、前記処理槽の後端上部には仕切板を設けたことを特徴とする、洗浄装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
