特許
J-GLOBAL ID：200903014861601591
反射型光学素子及びこれを用いた反射型光学系
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-267703
公開番号（公開出願番号）：特開平10-090496
出願日： 1996年09月19日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：
【要約】【課題】 光学素子の多層膜表面に不純物が付着した際には、これを除去して再利用することができるようにした反射型光学素子及びこれを用いた反射型光学系を提供する。【解決手段】 多層膜ミラー4は、基板1上に、複素屈折率が異なる2種類の物質を交互に積層形成した多層膜2を有する。多層膜2の最表面上には、X線に対して透明なポリエステル樹脂の保護膜3を形成する。長時間の使用などによって、多層膜2上の保護膜3に不純物が付着した場合には、保護膜3を除去することで不純物を取り除くことができる。保護膜3の除去は、有機溶剤などを用いて、保護膜3を溶解して取り除く。その後、新たな保護膜を多層膜上に成膜すれば、多層膜ミラーを繰り返し使用することができる。
請求項（抜粋）：
X線、γ線、あるいは極端紫外線を反射する多層膜を有する反射型光学素子において、前記多層膜の最表面上に、反射する前記X線等の電磁波の波長に対して90%以上の透過率をもつ保護膜が成膜されていることを特徴とする反射型光学素子。
IPC (4件)：
G21K 1/06
, B32B 7/02 103
, G02B 5/08
, B32B 27/36
G21K 1/06 C
, B32B 7/02 103
, G02B 5/08 A
, B32B 27/36
