特許
J-GLOBAL ID：200903014862064972
多層自己整列型垂直櫛形ドライブ静電アクチュエータ及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (10件)：
中村 稔
, 大塚 文昭
, 熊倉 禎男
, 宍戸 嘉一
, 竹内 英人
, 今城 俊夫
, 小川 信夫
, 村社 厚夫
, 西島 孝喜
, 箱田 篤
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-572407
公開番号（公開出願番号）：特表2004-500252
出願日： 2001年03月22日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：
複数の第1櫛形フィンガーを有する第1櫛形構造体と、複数の第2櫛形フィンガーを有する第2櫛形構造体とを備え、第1及び第2の櫛形フィンガーが実質的に指を組んだ状態にされる多層垂直櫛形ドライブアクチュエータを製造する方法が提供される。本発明は、これらの多数の層を含む構造体をマスキングしそしてエッチングする段階を含み、第1及び第2の櫛形フィンガーは、同時に製造される。第1及び第2の櫛形フィンガーは、絶縁層又はエアギャップで互いに電気的に分離された2つ以上の積層導電層を含む。或いは又、第1又は第2のいずれかの櫛形フィンガーが1つの導電層のみを含んでもよい。
請求項（抜粋）：
多層垂直櫛形ドライブ構造体を製造する方法において、
多層構造体を用意し、該多層構造体は、
第1導電層と、
第2導電層と、
上記第1導電層と第2導電層との間に配置された第1絶縁層と、
を備えたものであり、そして
上記第1導電層、絶縁層及び第2導電層にパターンをエッチングし、該パターンは、第1櫛形構造体の複数の櫛形フィンガーを画成し、該フィンガーが、第2櫛形構造体の複数の櫛形フィンガーと指を組んだ状態になるようにする方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
前のページに戻る
