特許

J-GLOBAL ID：200903014864524776

液体噴射ヘッド及び液体噴射装置

発明者： 角 浩二 ,  樋口 天光
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-227924
公開番号（公開出願番号）：特開2004-066600
出願日： 2002年08月05日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：

【課題】高密度な圧力発生室の配列を可能とし且つ圧電体層の圧電特性を実質的に高めることができ、製造効率を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】ノズル開口21に連通する圧力発生室12が形成される流路形成基板10と、流路形成基板10の一方面側に振動板を介して設けられる下電極60、圧電体層70及び上電極80からなる圧電素子300とを具備する液体噴射ヘッドにおいて、下電極60の少なくとも圧電体層70側をニッケル酸ランタン(LaNiOX)からなる配向制御層60bで構成することにより、流路形成基板10の結晶方位に影響されることなく、配向制御層60bの面方位によって比較的容易且つ確実に圧電体層70の結晶性を制御することができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備する液体噴射ヘッドにおいて、 前記下電極の少なくとも前記圧電体層側がニッケル酸ランタン(LaNiOX)からなる配向制御層で構成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。

IPC (8件)：

B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22

FI (10件)：

B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H ,  H01L41/08 L ,  H01L41/08 U ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101J ,  H01L41/08 D ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101Z

Fターム (8件)：

2C057AF93 ,  2C057AG42 ,  2C057AG44 ,  2C057AG47 ,  2C057AP34 ,  2C057AP51 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA14