特許
J-GLOBAL ID：200903014868954198
表面検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-330596
公開番号（公開出願番号）：特開平5-164701
出願日： 1991年12月13日
公開日（公表日）： 1993年06月29日
要約：
【要約】【目的】 被検体の表面の物理的に検出される状態の検出演算を高速に行うことのできる表面検査方法の提供。【構成】 上記表面検査方法によれば,画像センサ2の下方を矢印D方向に走行する被検体の表面が画像センサ2により2次元的に露光走査される。この時,被検体の表面欠陥(異常状態)の先端が画像センサ2の位置検知センサ3のある受光素子3a ́に検知されると,上記受光素子3a ́に隣接する形状認識センサ4の所定領域Rの受光素子4a のみが作動され出力する。そして,所定領域Rの受光素子4a の出力は,量子化された後,学習済みのニューラルネットワークに入力され,その汎化能力により図示の如くの菱形の表面欠陥11であると判別される。従って,被検体表面の全体領域についての異常状態の判別処理を行う必要がなく,極めて高速に上記異常状態の判別処理を行うことができる。
請求項（抜粋）：
被検体の表面を2次元的に走査する走査器によって上記被検体の表面から測定される物理的測定量に基づいて,上記被検体の表面の物理的に検出される状態を検出する表面検査方法において,上記走査器により走査された領域から物理的に検出される特定状態の領域及びその近傍の領域よりなる所定領域を抽出し,上記所定領域に対応する走査器からの出力に対応して予め用意された学習用の入力データにより学習済みのニューラルネットワークの入力層に,上記抽出された所定領域に対応する走査器からの出力を入力して得た,上記ニューラルネットワークの出力層からの出力に基づいて上記物理的に検出される状態を検出することを特徴とする表面検査方法。
IPC (5件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G01N 27/82
, G06F 15/18
, G06F 15/62 400
