水素分離膜およびその製造法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：吉田俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-255004
公開番号（公開出願番号）：特開平7-136477
出願日： 1993年09月17日
公開日（公表日）： 1995年05月30日
要約：

【要約】【目的】 Pd薄膜またはPd合金薄膜よりなる水素選択透過性膜を多孔質セラミックス膜の細孔内に形成させることにより薄膜化を図り、これにより水素透過性を更に改善させた水素分離膜およびその製造法を提供する。【構成】多孔質セラミックス膜の両側に圧力差を設け、気化させたPd膜源またはPd合金膜源を多孔質セラミックス膜の細孔内に吸引しながら、細孔内でPd膜化またはPd合金膜化させることにより、細孔内にPd薄膜またはPd合金薄膜を形成させた多孔質セラミックス膜よりなる水素分離膜を製造する。

請求項（抜粋）：