特許
J-GLOBAL ID：200903014886952143
ダイヤモンド膜の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福村 直樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-139470
公開番号（公開出願番号）：特開平5-330988
出願日： 1992年05月29日
公開日（公表日）： 1993年12月14日
要約：
【要約】【目的】 本発明の目的は、金属等の余分な無機成分を含まない純ダイヤモンドの厚膜体や所望の無機成分を含有するダイヤモンド複合物の厚膜体を気相法によって効率よく製造する方法を提供することである。【構成】 本発明のダイヤモンド膜の製造方法は、反応器内で、ダイヤモンド粉体または無機粉体の流動層を形成させると共に、該流動層中に基板を配置して気相法によるダイヤモンド合成反応を行うことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
反応器内で、ダイヤモンド粉体または無機粉体の流動層を形成させると共に、該流動層中に基板を配置して気相法によるダイヤモンド合成反応を行うことを特徴とするダイヤモンド膜の製造方法。
IPC (4件)：
C30B 29/04
, B01J 8/42
, B01J 19/08
, C01B 31/06
