Crを添加したFeCoB系ターゲット材

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：椎名彊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-222059
公開番号（公開出願番号）：特開2008-045173
出願日： 2006年08月16日
公開日（公表日）： 2008年02月28日
要約：

【課題】軟磁性薄膜を形成するためのCrを添加したFeCoB系ターゲット材を提供する。【解決手段】 FeCoB系ターゲット材において、ターゲット材はCrを含有し、かつターゲット材は組成の異なる2種以上の合金粉末を原料とし、この合金粉末を混合して成形したものであり、この合金粉末は少なくとも1種または2種以上が、FeとCoを合計で60at%以上含有し、CrがBより15〜25at%多く含有し、かつFeとCoの原子量比がFe:Co=70:30〜40:60である合金粉末であることを特徴とするCrを添加したFeCoB系ターゲット材。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

FeCoB系ターゲット材において、ターゲット材はCrを含有し、かつターゲット材は組成の異なる2種以上の合金粉末を原料とし、この合金粉末を混合して成形したものであり、この合金粉末は少なくとも1種または2種以上が、FeとCoを合計で60at%以上含有し、CrがBより15〜25at%多く含有し、かつFeとCoの原子量比がFe:Co=70:30〜40:60である合金粉末であることを特徴とするCrを添加したFeCoB系ターゲット材。

IPC (6件)：

C23C 14/34 , C23C 14/06 , C22C 38/00 , C22C 30/00 , B22F 1/00 , G11B 5/851

FI (7件)：

C23C14/34 A , C23C14/06 T , C22C38/00 304 , C22C38/00 302X , C22C30/00 , B22F1/00 X , G11B5/851

Fターム (19件)：

4K018BA16 , 4K018BA20 , 4K018BB04 , 4K018BC10 , 4K018EA15 , 4K018FA02 , 4K018KA29 , 4K018KA43 , 4K029BA24 , 4K029BA26 , 4K029BC06 , 4K029BD11 , 4K029CA05 , 4K029DC04 , 4K029DC09 , 4K029DC39 , 5D112AA04 , 5D112BD03 , 5D112FB06

引用特許：

出願人引用 (2件)

Fe-Co-B系合金ターゲット材、その製造方法、軟磁性膜および磁気記録媒体ならびにTMR素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-100406 出願人：日立金属株式会社
Co合金ターゲット材の製造方法、Co合金ターゲット材および垂直磁気記録用軟磁性膜ならびに垂直磁気記録媒体
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-109958 出願人：日立金属株式会社

審査官引用 (1件)

特開平4-228568

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