特許
J-GLOBAL ID：200903014890693969
アライメントマーク検出装置とアライメントマーク検出方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾川 秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-104513
公開番号（公開出願番号）：特開平10-294267
出願日： 1997年04月22日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：
【要約】【課題】 撮像手段5により撮像した映像信号によりアライメントマークを検出するにあたり、コントラスト不足、エッジ不明瞭、ノイズ発生等によるアライメントマーク検出精度の低下を防止する。【解決手段】 NAを変化させる絞り11を設け、NAを変えて複数回のアライメントマーク2の位置検出を繰り返し、その複数回の位置検出結果の平均値を以てアライメントマーク2の検出位置と認識するようにする。
請求項（抜粋）：
アライメントマークのある被写体を撮像手段により撮像し、該撮像手段から出力された映像信号を映像信号処理手段により処理してアライメントマークの位置を検出するアライメントマーク検出装置において、上記被写体を上記撮像手段の撮像面に結像する光学経路に、上記映像信号処理手段によりNA(開口数)制御が可能な絞りを有し、上記NAを変えてのアライメントマーク位置検出を複数回行い、複数回の位置検出結果の平均値を求めるようにしてなることを特徴とするアライメントマーク検出装置
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 525 P
, G03F 9/00 H
