特許
J-GLOBAL ID：200903014898217007
単結晶製造方法およびその装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-026014
公開番号（公開出願番号）：特開平5-194082
出願日： 1992年01月17日
公開日（公表日）： 1993年08月03日
要約：
【要約】【目的】 ワイヤ巻き上げ方式並みの全高で、シード軸を高速回転することができ、かつ、ロードセルによる高精度の重量検出が可能な単結晶製造装置を提供する。【構成】 チャンバ1の上方に、ベアリング2を介して回転自在のシードハウジング3を設け、その中にガイドバー9に沿って垂直に上下するシードガイド部11と、シードガイド部11を引き上げるワイヤケーブル19を前記シードハウジング3の外壁に沿って下方に向けるプーリ13,14とを設ける。シードガイド部11に固着されたシード軸10はシードハウジング3とともに回転し、モータ17によりスクリューシャフト15が回転して、シードリフト部18がロードセル20を押し下げると、ワイヤケーブル19がシードガイド部11を介してシード軸10と成長した単結晶28とを引き上げる。単結晶の重量はロードセル20が検出して制御装置にフィードバックする。
請求項（抜粋）：
単結晶の成長を回転しながら引き上げるチョクラルスキー法による単結晶製造装置において、単結晶を巻上げ装置により引上げるときにワイヤ自体を非回転にし単結晶の成長に合わせてワイヤを引き上げるととともに、巻上げ装置を装着するシードハウジング部を回転し、単結晶を回転させながら成長させることを特徴とする単結晶の製造方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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