X線平面検出器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-291532
公開番号（公開出願番号）：特開2003-179220
出願日： 2002年10月03日
公開日（公表日）： 2003年06月27日
要約：

【要約】【課題】高電圧に対する保護作用のために画素回路が複雑化するのを防止し、画素を微細化しても良好な画像を取得できるX線平面検出器を提供すること。【解決手段】入射するX線により感光され信号電荷を発生するX線感光膜と、X線感光膜に接して配置された複数の画素電極と、X線感光膜で発生する信号電荷としての正孔及び電子のうち、移動度の高い方が前記複数の画素電極に収集されるように、X線感光膜にバイアス電圧を印加する電圧印加手段と、画素電極毎に設けられ、X線感光膜が発生する電荷を蓄積するキャパシタと、画素電極毎に設けられ、キャパシタが蓄積する電荷を読み出す複数のスイッチングTFTと、複数のスイッチングTFTを開閉制御するための制御信号を供給する複数の走査線と、複数のスイッチングTFTに接続され、スイッチング用TFTが閉じたときに電荷を読み出すための複数の信号線と、を具備するX線平面検出器である。

請求項（抜粋）：

入射するX線により感光され信号電荷を発生するX線感光膜と、前記X線感光膜に接して二次元的に配置された複数の画素電極と、前記X線感光膜において発生する信号電荷としての正孔及び電子のうち、移動度の高い方を前記複数の画素電極に収集されるように、前記X線感光膜にバイアス電圧を印加するバイアス電圧印加手段と、前記画素電極毎に設けられ、前記X線感光膜が発生する電荷を蓄積する複数のキャパシタと、前記画素電極毎に設けられ、前記キャパシタが蓄積する電荷を読み出す複数のスイッチング用薄膜トランジスタと、前記複数のスイッチング用薄膜トランジスタを開閉制御するための制御信号を供給する複数の走査線と、前記複数のスイッチング用薄膜トランジスタに接続され、前記スイッチング用薄膜トランジスタが閉じたときに前記電荷を読み出すための複数の信号線と、を具備することを特徴とするX線平面検出器。

IPC (6件)：

H01L 27/146 , G01T 1/24 , H01L 27/14 , H01L 31/0264 , H01L 31/09 , H04N 5/32

FI (6件)：

G01T 1/24 , H04N 5/32 , H01L 27/14 C , H01L 31/00 A , H01L 31/08 N , H01L 27/14 K

Fターム (46件)：

2G088EE01 , 2G088FF02 , 2G088GG21 , 2G088JJ05 , 2G088JJ09 , 2G088JJ31 , 2G088JJ33 , 2G088JJ35 , 2G088JJ37 , 2G088KK32 , 2G088LL12 , 2G088LL18 , 4M118AA08 , 4M118AB01 , 4M118BA05 , 4M118CA05 , 4M118CA32 , 4M118CB05 , 4M118CB08 , 4M118CB14 , 4M118EA05 , 4M118FB09 , 4M118FB13 , 4M118FB16 , 4M118GA10 , 5C024AX11 , 5C024CX37 , 5C024CY47 , 5F088AA03 , 5F088AB01 , 5F088BA20 , 5F088BB03 , 5F088BB07 , 5F088CB05 , 5F088CB06 , 5F088CB08 , 5F088CB12 , 5F088DA01 , 5F088DA20 , 5F088EA04 , 5F088EA08 , 5F088EA16 , 5F088GA02 , 5F088KA03 , 5F088KA08 , 5F088LA08

引用特許：

審査官引用 (4件)

X線平面検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-161977 出願人：株式会社東芝
スタティック画像作成およびダイナミック画像作成のための固有の高電圧保護を備えた直接変換ディジタル式X線検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-193438 出願人：エフティーエヌアイインコーポレイテッド
X線撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-045653 出願人：株式会社東芝

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