特許
J-GLOBAL ID：200903014908940535
座標測定機の温度補正装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-014653
公開番号（公開出願番号）：特開平6-229705
出願日： 1993年02月01日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：
【要約】【目的】 温度補正ユニットを座標測定機に設け、その長さを測定するだけで温度補正係数を求めることができるので、構造の簡素化や安価化を図る。【構成】 温度補正ユニット24は円柱体28、筒体30及びベース26を備えている。円柱体28は熱膨張率が実質的に零の部材で形成され、筒体30は熱膨張変形可能な部材で形成されている。円柱体28、筒体0の各々の端部はベース26の基準面に平行に設けられている。そして、温度補正ユニット24は三次元座標測定機10の測定範囲内に配置され、かつ、温度補正ユニット24の円柱体28、筒体30は三次元座標測定機10の座標軸にほぼ平行に位置決めされている。また、制御部36には基準温度における円柱体28、筒体30の基準長さ及び筒体30の熱膨張係数が予め記憶されている。さらに、制御部36は予め記憶されたデータとプローブで測定した円柱体28、筒体30の測定長さから測定時の温度補正係数を計算し、さらに三次元座標測定機10やワークの温度補正を行う。
請求項（抜粋）：
座標軸方向に移動自在に設けられたプローブでワークの形状等を測定する座標測定機において、熱膨張率が実質的に零の部材で形成された第1補正部材及び熱膨張可能な部材で形成された第2補正部材が互いに平行にベースの基準面に設けられた温度補正ユニットと、基準温度における第1、2の補正部材の基準長さ及び第2の補正部材の熱膨張係数が予め記憶され、該予め記憶されたデータと前記プローブで測定した第1、2の補正部材の測定長さから測定時の温度補正係数を計算する制御部と、を備え、前記温度補正ユニットを座標測定機の測定範囲内に配置し、かつ、前記温度補正ユニットの第1、2の補正部材を座標測定機の座標軸にほぼ平行に位置決めすることを特徴とする座標測定機の温度補正装置。
IPC (3件)：
G01B 5/20 101
, G01B 21/20 101
, G01K 5/56
