膜厚測定方法およびシートの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-038375
公開番号（公開出願番号）：特開2003-240515
出願日： 2002年02月15日
公開日（公表日）： 2003年08月27日
要約：

【要約】【課題】測定対象の測定レンジが広い場合であっても、一つの測定器で高精度な測定を行うことができる光干渉による膜厚測定方法を提供する。【解決手段】測定対象に光を照射し、測定対象からの反射光または透過光を波長毎に分光して得られる干渉波形から、測定対象の膜厚を求める膜厚測定方法であって、得られた干渉波形の極値の数または該干渉波形の振幅を予め設定した基準値と比較し、その結果に応じて複数の異なる膜厚演算方法の中から一の膜厚演算方法を選択して膜厚演算を行うことを特徴とする膜厚測定方法。

請求項（抜粋）：

測定対象に光を照射し、測定対象からの反射光または透過光を波長毎に分光して得られる干渉波形から、測定対象の膜厚を求める膜厚測定方法であって、得られた干渉波形の極値の数または該干渉波形の振幅を予め設定した基準値と比較し、その結果に応じて複数の異なる膜厚演算方法の中から一の膜厚演算方法を選択して膜厚演算を行うことを特徴とする膜厚測定方法。

IPC (2件)：

G01B 11/06 , G01B 11/06 101

FI (2件)：

G01B 11/06 G , G01B 11/06 101 G

Fターム (22件)：

2F065AA30 , 2F065BB13 , 2F065BB15 , 2F065CC02 , 2F065FF52 , 2F065GG24 , 2F065HH03 , 2F065HH12 , 2F065JJ02 , 2F065JJ08 , 2F065JJ25 , 2F065LL42 , 2F065LL67 , 2F065NN20 , 2F065QQ02 , 2F065QQ16 , 2F065QQ17 , 2F065QQ18 , 2F065QQ25 , 2F065QQ29 , 2F065QQ41 , 2F065QQ51

前のページに戻る