特許
J-GLOBAL ID：200903014928108453
カラーフィルタ露光方法およびカラーフィルタ露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-065053
公開番号（公開出願番号）：特開平5-265221
出願日： 1992年03月23日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：
【要約】【目的】カラーフォトレジストの光重合反応に対して妨げとなる酸素による影響を排した露光方法(装置)を提供する。【構成】未露光の基板に対して露光を行なう密閉された空間内を減圧し、前記空間内の酸素濃度を、フォトレジストが光重合反応を起こし得る程度まで下げ、光照射を行なう。露光装置としては、密閉された空間を、各チャンバー毎にポンプ等による排気を行い得る構成とする。【効果】基板に酸素遮断膜を形成する工程が不要となり、酸素遮断膜の塗布工程から剥離工程までに発生する不良品の数が全くなくなり、カラーフィルタ製造工程全体が短縮され、歩留りが向上した。
請求項（抜粋）：
上面に、光重合反応を起こし得る顔料を分散して着色されたカラーフォトレジストが一定の膜厚に塗布されたガラス基板に対して、所定の光遮断用パターンを持つ基板を介して、光照射を行うカラーフィルタ露光方法において、密閉された空間内で、減圧状態における上記光照射を行うことを特徴とするカラーフィルタ露光方法。
IPC (2件)：
G03F 7/20
, G02B 5/20 101
