特許

J-GLOBAL ID：200903014930377208

光位置・光量検出装置

発明者： 酒井 覚 ,  中村 裕 ,  肥塚 哲男 ,  安藤 護俊
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 松本 眞吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-092631
公開番号（公開出願番号）：特開平6-300518
出願日： 1993年04月20日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：

【要約】【目的】より広範囲で光ビームの入射位置及び明るさを検出する。【構成】蛍光ファイバー221〜22mが面状に配列された蛍光ファイバー束22と、蛍光ファイバー321〜32nが面状に配列された蛍光ファイバー束32とが交差しており、交差領域に光ビームが入射すると、蛍光ファイバー内に散在する蛍光物質が励起されて蛍光が放出される。蛍光ファイバー22iの一端から出射した蛍光は、光結合レンズ24Aにより1次元光センサ26Aの受光面上に集光され、蛍光ファイバー32jの一端から出射した蛍光は、光結合レンズ34Aにより1次元光センサ36Aの受光面上に集光される。1次元光センサ26A、36Aは、PSD又はラインセンサであり、光位置演算回路28、38により光ビーム断面SPの位置が検出され、加算器40により光ビームの光量が検出される。

請求項（抜粋）：

蛍光ファイバー(221〜22m)が面状に配列された第1蛍光ファイバー束(22)と、蛍光ファイバー(321〜32n)が面状に配列され、該第1蛍光ファイバー束と交差する第2蛍光ファイバー束(32)と、線上の受光位置及び受光量を検出可能な第1及び第2の1次元光センサ(26A、36A)と、該第1蛍光ファイバーの一端から出射した蛍光を、第1の該1次元光センサの受光面上に集光させる第1光結合レンズ(24A)と、該第2蛍光ファイバーの一端から出射した蛍光を、第2の該1次元光センサの受光面上に集光させる第2光結合レンズ(34A)と、第1及び第2の該1次元光センサの出力信号に基づいて、第1及び第2の該蛍光ファイバー束の交差領域に入射する光ビームの該交差領域内での位置及び該光ビームの光量を検出する信号処理手段(28、38、40)と、を有することを特徴とする光位置・光量検出装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ,  G01J 1/02