特許

J-GLOBAL ID：200903014939212147

走査型露光装置および方法

発明者： 長谷川 敬恭 ,  吉村 圭司 ,  黒沢 博史 ,  小澤 邦貴
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-266111
公開番号（公開出願番号）：特開平9-092611
出願日： 1995年09月21日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】【課題】 エキシマレーザ制御装置等を光源として使用した走査型露光装置および方法において、原版および基板間の走査方向および非走査方向の位置ずれ、または原版および基板間の距離がばらつくことによる露光むらおよびフォーカスエラーが発生した状態での露光を防止する。【解決手段】 レーザ装置を光源とする照明手段1と、この照明手段からの照明光により原版のパターンが基板上に走査露光されるように原版および基板を移動する移動手段13,14と、基板および原版間の相対位置を計測する相対位置計測手段101と、装置の動作を制御する制御手段104とを備えた走査型の露光装置において、制御手段は、走査露光のために原版および基板の移動を開始し、露光開始前に相対位置を計測してこの相対位置が所定の範囲内にあるか否かを判定し、所定の範囲内にないと判定したときには露光を行わないように装置を制御するものである。

請求項（抜粋）：

レーザ装置を光源とする照明手段と、この照明手段からの照明光により原版のパターンが基板上に走査露光されるように前記原版および基板を移動する移動手段と、前記基板および原版間の相対位置を計測する相対位置計測手段と、装置の動作を制御する制御手段とを備えた走査型の露光装置において、前記制御手段は、走査露光のために前記原版および基板の移動を開始し、露光開始前に前記相対位置を計測してこの相対位置が所定の範囲内にあるか否かを判定し、所定の範囲内にないと判定したときには露光を行わないように装置を制御するものであることを特徴とする走査型露光装置。

FI (5件)：

H01L 21/30 518 ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 515 G ,  H01L 21/30 515 B ,  H01L 21/30 515 D