特許
J-GLOBAL ID：200903014955853675
多品種基板チャック機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小橋川 洋二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-340518
公開番号（公開出願番号）：特開平11-163113
出願日： 1997年11月26日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】 チャック機構にアクチュエータや可動部を少なくすることで重量負荷をなくし、振動を抑えて高精度なXYステージの制御を可能とした多品種基板チャック機構を提供する。【解決手段】 ロボット本体のロボットアーム2に1対の前アーム2aと後アーム2bを伸縮自在に取り付け、この前アーム2a及び後アーム2bに挟持ロッド3を垂下させ、前アーム2a及び後アーム2bに対応して前プレート6a及び後プレート6bを分割させて移動可能に配置し、前プレート6a及び後プレート6bに挟持ロッド3が嵌まる移動用6dを備えて、前プレート6a及び後プレート6b間の基板受け部分6cによる開口サイズを調整した。
請求項（抜粋）：
基板の両側を挟むロボットアームにあって、一対の片側アームそれぞれに互いに平行な2本の前アームと後アームとを伸縮自在に備え、このそれぞれの片側アームの上記前アーム及び後アームそれぞれに挟持ロッドを備える一方、上記基板が搭載されるプレートを基板受け部分を対向させて前プレートと後プレートとに分割し、これら前プレート及び後プレートを直線ロッド上にて移動可能とし、上記前プレート及び後プレートに上記前アーム及び後アームの各挟持ロッドが嵌り込む移動用穴を設けた多品種基板チャック機構。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25J 15/08
, G03F 1/08
H01L 21/68 S
, B25J 15/08 K
, G03F 1/08 S
