特許
J-GLOBAL ID:200903014968737020

波長検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 木村 高久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-157038
公開番号(公開出願番号):特開平5-007031
出願日: 1991年06月27日
公開日(公表日): 1993年01月14日
要約:
【要約】【目的】光の波長を正確かつ確実に検出する。【構成】エタロン6を透過した光の波長は、干渉縞8aを形成する同心円の半径の2乗に比例するという原理に基づくものであり、光強度の最大値よりも小さい所定の光強度に対応する2位置として干渉縞8aを形成する内側の円の半径位置と外側の円の半径位置とが光検出器8で検出されると、波長コントローラ10は検出した内側半径位置に基づき内側の円の半径の2乗を演算されるとともに検出した外側半径位置に基づき外側の円の半径の2乗を演算して、これら両半径の2乗値の平均値に基づき光の中心波長を演算する。
請求項(抜粋):
分光手段を通過した光を検出面に照射させることにより前記光の干渉縞の光強度分布を光検出手段で検出し、前記光強度の所定値に対応する前記検出面上の検出位置に基づき前記光の波長を検出する波長検出装置において、前記光強度の最大値よりも小さい所定の光強度に対応する前記検出面上の2位置をそれぞれ前記干渉縞を形成する内側の円の半径位置および外側の円の半径位置として前記光検出手段で検出し、前記検出した内側半径位置に基づき前記内側の円の半径の2乗を演算するとともに前記検出した外側半径位置に基づき前記外側の円の半径の2乗を演算し、これら両半径の2乗値の平均値に基づき前記波長を演算するようにした波長検出装置。

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