特許
J-GLOBAL ID：200903014971809880
超音波厚さ測定センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-049517
公開番号（公開出願番号）：特開平8-247751
出願日： 1995年03月09日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：
【要約】【目的】 厚さの最小測定限界を広げる。【構成】 本発明の超音波厚さ測定センサ2は、超音波発振素子12の半径をS、音響レンズ16の凸面の曲率半径をR、ディレイ材15の先端半径をC、その高さをL、音響レンズ16内の音速をV1、ディレイ材15内の音速をV2とするとき、これらのパラメータの間の関係が所定の不等式を満たす範囲にあるようにディレイ材15の高さLを設定し、超音波発振素子12から出力され、音響レンズ16によって屈折されてディレイ材15内を透過する超音波の焦点をディレイ材15の先端面かそれよりも所定の距離だけ外側の位置に結ぶようにし、厚さ測定時に被測定物の表面で反射して戻ってくる反射波がディレイ材15の側周面で反射される経路を持たなくなるようにして、遅れエコーの発生を抑制して厚さ測定限界寸法を広げる。
請求項（抜粋）：
超音波発振素子と、前記超音波発振素子から出る超音波を所定の焦点距離位置に点状に収束させる球面形状の音響レンズと、前記音響レンズの凸面と嵌合する凹部が上底部に形成され、前記音響レンズから出る超音波を伝播させて先端部から出射させ、被測定物から反射してくる超音波を前記先端面から入射させて前記音響レンズに戻すためのほぼ逆円錐台形のディレイ材とを備えて成る超音波厚さ測定センサにおいて、前記超音波発振素子の半径をS、前記音響レンズの凸面の曲率半径をR、前記ディレイ材の先端半径をC、その高さをL、前記音響レンズ内の音速をV1、前記ディレイ材内の音速をV2とするとき、これらのパラメータの間の関係が次の不等式を満たす範囲にあるように前記ディレイ材の高さLを設定したことを特徴とする超音波厚さ測定センサ。【数1】
引用特許：
前のページに戻る
