特許
J-GLOBAL ID：200903014975413582
硬質薄膜の密着性評価方法及び密着性評価試験装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三原 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-321000
公開番号（公開出願番号）：特開平7-146230
出願日： 1993年11月25日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：
【要約】【目的】基板に硬質薄膜を被覆した評価対象材料を成膜面に平行な圧縮条件下に供試して膜剥離させ、膜剥離圧縮応力を評価基準として硬質薄膜の密着性を迅速かつ定量的に評価可能とする。【構成】密着性評価試験装置が、供試基板(5)を一軸圧縮するための圧縮手段(1)と、膜の剥離を確認するための膜剥離検知手段(2)と、加圧停止を含み圧縮手段(1)の動作を制御するための加圧制御手段(3)と、表示・出力手段(4)を具備したものとされる。ここで、膜剥離検知手段(2)が、供試基板(5)の膜表面に垂設される接着棒と接着棒の自由端に取り付けられ接着面に曲げ荷重を与えるおもりと接着棒の引倒れとともに膜剥離を感知するセンサーからなり、膜剥離圧縮応力を測定するようにしている。
請求項（抜粋）：
コーティング膜の密着性を評価する方法において、評価対象材料の膜表面に接着棒を取付け、成膜面に平行な圧縮条件下に供試し、膜の圧縮剥離にともなう接着棒の引倒れにより膜剥離を検知し、このときの膜剥離圧縮応力を計測することを特徴とする硬質薄膜の密着性評価方法。
IPC (2件)：
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