特許
J-GLOBAL ID:200903014977164199
水溶性感光性樹脂組成物およびこれを用いたブラックマトリックスパターンの形成方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
長谷川 洋子 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-352633
公開番号(公開出願番号):特開平9-185163
出願日: 1995年12月29日
公開日(公表日): 1997年07月15日
要約:
【要約】【課題】 特にカラーブラウン管などのブラックマトリックスの製造に用いられるホトレジストとして、高感度で、短い露光時間、少ない露光量で効率よく光硬化パターンを形成することができるとともに、ガラス基板との密着性に優れ、薄膜でもパターン形成が可能であり、容易に剥離可能な水溶性感光性樹脂組成物、およびこれを用いたブラックマトリックスパターンの形成方法を提供する。【解決手段】 特定の構成単位を有する高分子化合物と、直鎖に1,2-グリコール結合を有する水溶性ポリマーとを含有させて、水溶性感光性樹脂組成物とする。そして、この水溶性感光性樹脂組成物を用いて光硬化パターンを形成した後、光吸収性物質を全面に塗布、乾燥後、前記光硬化パターンとその上の光吸収性物質を剥離除去することによりブラックマトリックスパターンを形成する。
請求項(抜粋):
下記の一般式(I)および(II)【化1】(式中、RはHまたはCH3 を表す)【化2】(式中、XはNa、KまたはNH4 を表す)で表される構成単位を有する高分子化合物(A)と、直鎖に1,2-グリコール結合を有する水溶性ポリマー(B)とを含有してなる、水溶性感光性樹脂組成物。
IPC (8件):
G03F 7/012 501
, C08F220/58 MNG
, C08L 29/04 LGS
, C08L 33/26 LJV
, G03F 7/033
, G03F 7/038
, G03F 7/42
, H01J 9/227
FI (9件):
G03F 7/012 501
, C08F220/58 MNG
, C08L 29/04 LGS
, C08L 33/26 LJV
, G03F 7/033
, G03F 7/038
, G03F 7/42
, H01J 9/227 C
, H01J 9/227 D
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