特許

J-GLOBAL ID：200903014986102937

隔壁転写用元型の作製方法及び隔壁形成方法

発明者： 渡海 章 ,  豊田 治 ,  別井 圭一
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-306543
公開番号（公開出願番号）：特開2002-117756
出願日： 2000年10月05日
公開日（公表日）： 2002年04月19日
要約：

【要約】【課題】 感光性材料を用いて、その感光性材料にフォトマスクを介して斜め方向から露光光を照射することにより、側壁に適切なテーパの付いた隔壁パターンを有する隔壁転写用元型を安定した高い精度で形成する。【解決手段】 基板上に感光性材料層を形成し、その感光性材料層にフォトマスクを介して斜め方向から露光光を照射した後、現像することにより、基板上に適切なテーパの付いた側壁を有する隔壁パターンを形成する。

請求項（抜粋）：

基板上に感光性材料層を形成し、その感光性材料層にフォトマスクを介して斜め方向から露光光を照射した後、現像することにより、基板上に側壁がテーパの付いている隔壁パターンを形成する工程を含んでなる隔壁転写用元型の作製方法。

IPC (8件)：

H01J 9/02 ,  B41M 1/10 ,  B41M 3/00 ,  B41M 3/06 ,  G03F 1/08 ,  G03F 7/20 501 ,  H01J 11/02 ,  H04N 5/66 101

FI (8件)：

H01J 9/02 F ,  B41M 1/10 ,  B41M 3/00 Z ,  B41M 3/06 Z ,  G03F 1/08 D ,  G03F 7/20 501 ,  H01J 11/02 B ,  H04N 5/66 101 A

Fターム (22件)：

2H095BA12 ,  2H095BB02 ,  2H097AA11 ,  2H097BA06 ,  2H097BB03 ,  2H097FA02 ,  2H113AA01 ,  2H113AA02 ,  2H113BA03 ,  2H113BB09 ,  2H113CA15 ,  2H113CA21 ,  2H113FA10 ,  5C027AA09 ,  5C040FA01 ,  5C040FA04 ,  5C040GB03 ,  5C040GB14 ,  5C040GF19 ,  5C058AA11 ,  5C058AB01 ,  5C058BA09