特許

J-GLOBAL ID：200903014996332868

被膜形成装置

発明者： 川崎 義則
出願人/特許権者： 石川島播磨重工業株式会社
代理人 (1件)： 絹谷 信雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-021312
公開番号（公開出願番号）：特開平5-222520
出願日： 1992年02月06日
公開日（公表日）： 1993年08月31日
要約：

【要約】【目的】 真空容器の内壁に蒸発材料が付着するのを防止することを可能とする。【構成】 蒸着材料2を収容した蒸発るつぼ3を真空容器1内の底部に設け、真空容器1内の上部に被蒸着部材4を配置した被膜形成装置において、送り出しロール6に巻き付けられた防着板5を、真空容器1の各内壁面1a、1bおよび1cに沿ってその各内壁面1a、1bおよび1cを覆って移動させ、巻き取りロール7に巻き取ることにより、真空容器1の各内壁1a、1bおよび1cに蒸発材料2が付着するのを防止することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

蒸着材料を収容した蒸発るつぼを真空容器内の底部に設け、真空容器内の上部に被蒸着部材を配置した被膜形成装置において、上記真空容器の各内壁面に沿ってその各内壁面を覆って移動する防着板を設けたことを特徴とする被膜形成装置。