特許
J-GLOBAL ID：200903015005130363
ガスバリヤー膜の製造方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八木田 茂 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-285288
公開番号（公開出願番号）：特開2003-089874
出願日： 2001年09月19日
公開日（公表日）： 2003年03月28日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】ガスバリヤー性に優れたダイヤモンド状炭素膜(DLC膜)を産業上利用可能な規模で形成する方法及び装置を提供する。【解決手段】巻取り式蒸着装置を用いて各種物質の保存に用いられる容器としてのプラスチックフィルム素材上にガスバリヤー膜としてダイヤモンド状炭素膜を形成するために、排気系を有する真空チャンバー内でプラスチックフィルム素材を移送させる主ローラーに電力を印加して主ローラーと陽極との間に放電を起こさせ、主ローラー上を移送されるプラスチックフィルム素材の表面近傍に磁場を掛け、それにより原料ガスの炭化水素ガスを分解して、プラスチックフィルム素材上に緻密なダイヤモンド状炭素膜を50Å〜1000Åの範囲の厚さに形成することから成る。
請求項（抜粋）：
巻取り式蒸着装置を用いて各種物質の保存に用いられる容器としてのプラスチックフィルム素材上にガスバリヤー膜としてダイヤモンド状炭素膜を形成する方法において、排気系を備えた真空チャンバー内でプラスチックフィルム素材を移送させる主ローラーに電力を印加して主ローラーと陽極との間に放電を起こさせ、主ローラー上を移送されるプラスチックフィルム素材の表面近傍に磁場を掛け、それにより原料ガスの炭化水素ガスを分解して、プラスチックフィルム素材上に緻密なダイヤモンド状炭素膜を50Å〜1000Åの範囲の厚さに形成することを特徴とするガスバリヤー膜の製造方法。
Fターム (10件)：
4K030AA09
, 4K030BA28
, 4K030CA07
, 4K030CA12
, 4K030FA03
, 4K030JA18
, 4K030KA15
, 4K030KA34
, 4K030LA01
, 4K030LA11
