特許
J-GLOBAL ID：200903015011492692

高精密度のミラーおよびその製造方法

発明者：
シャエファー、ジョン・ピー.

シャエファー、ジョン・ピー. について


出願人/特許権者：
レイセオン・カンパニー

レイセオン・カンパニー について


代理人 (11件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  白根 俊郎 ,  村松 貞男 ,  野河 信久 ,  橋本 良郎 ,  風間 鉄也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-503844
公開番号（公開出願番号）：特表2006-518883
出願日： 2004年02月24日
公開日（公表日）： 2006年08月17日
要約：
ミラーは、表面を有する基板と、基板の表面上に設けられ、基板と反対側の表面を覆って研磨仕上げされた表面を有する薄膜の仕上げ層とを含んでいる。本発明の異なる特徴によれば、ミラーの製造方法は、表面を上に有する基板を設け、薄膜技術を使用して基板の表面上に薄膜仕上げ層を形成し、仕上げ層は基板と反対側の表面に表面を有し、仕上げ層の表面を研磨するステップを含んでいる。
請求項（抜粋）：
ミラーを具備する装置において、ミラーは、 表面を有する基板と、 前記基板の前記表面上に設けられ、前記基板とは反対側の表面上に研磨仕上げされた表面を有する薄膜の仕上げ層とを含んでいる装置。
IPC (5件)：
G02B 5/08 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/14 ,  C23C 14/10 ,  C23C 14/16
FI (8件)：
G02B5/08 A ,  G02B5/08 C ,  C23C14/06 R ,  C23C14/14 D ,  C23C14/14 B ,  C23C14/06 N ,  C23C14/10 ,  C23C14/16 Z
Fターム (23件)：
2H042DA02 ,  2H042DA04 ,  2H042DA05 ,  2H042DA10 ,  2H042DA15 ,  2H042DB06 ,  2H042DC02 ,  2H042DC09 ,  2H042DE00 ,  2H042DE07 ,  4K029AA02 ,  4K029BA03 ,  4K029BA04 ,  4K029BA05 ,  4K029BA07 ,  4K029BA12 ,  4K029BA18 ,  4K029BA25 ,  4K029BA35 ,  4K029BB02 ,  4K029BC07 ,  4K029BC08 ,  4K029BD09
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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