特許
J-GLOBAL ID：200903015014738919
電子放射型電子銃
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-001642
公開番号（公開出願番号）：特開2002-208368
出願日： 2001年01月09日
公開日（公表日）： 2002年07月26日
要約：
【要約】【課題】 FEGの動作の異常状態を自動的に判断することにより正確な自動フラッシングを行うことができる電界放射型電子銃を備えた電子ビーム装置を提供する。【解決手段】 電界放射エミッタと、このエミッタから電子を放射させる引出電極と、エミッタから引き出された電子を加速するための加速電極と、引出電極に印加される引出電圧を制御する引出電源と、エミッタから放出された電子の一部を検出するエミッション電流検出手段とを有する電界放射型電子銃において、エミッション電流がある閾値の限界を越えた減少を検出する手段と、該検出手段の出力に基づいてエミッション電流が所定の電流に復帰するように引出電圧を可変制御する手段と、引出電圧の変化に基づいて電界放射エミッタの状態を判断する手段と、その判断によって自動的にフラッシングを行う手段を有したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
電界放射エミッタと、このエミッタから電子を放射させる引出電極と、エミッタから引き出された電子を加速するための加速電極と、引出電極に印加される引出電圧を制御する引出電源と、エミッタから放出された電子の一部を検出するエミッション電流検出手段とを有する電界放射型電子銃において、エミッション電流がある閾値の限界を越えた減少を検出する手段と、該検出手段の出力に基づいてエミッション電流が所定の電流に復帰するように引出電圧を可変制御する手段と、引出電圧の変化に基づいて電界放射エミッタの状態を判断する手段と、その判断によって自動的にフラッシングを行う手段を有した電界放射型電子銃。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 37/073
, H01J 1/30 F
